以下是2024年部分光刻机类上市公司名单：

光刻机整机及相关

- 张江高科：持股上海微电子10.779%的股份，上海微电子是国产光刻机的重要企业.

- 东方明珠：间接持股上海微电子2%的股份.

光刻机光源

波长光电：提供光刻机平行光源系统.

光学器件

- 苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品.

- 晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商.

- 腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链.

洁净设备

蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户.

温控部分

海立股份：微电子装备集团的系统级合作商，其液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制.

物镜部分

赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商.

控制器部分

- 电科数字：子公司可供货光刻机控制器.

- 国林科技：子公司可供货光刻机控制器.

结构件部分

金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是上海微电子供应商.

其他

- 中微公司：其产品包括光刻机、刻蚀机等.

- 长电科技：主要从事半导体封装测试业务，产品广泛应用于光刻机制造领域.

- 华天科技：主要从事半导体封装测试业务，产品广泛应用于光刻机制造领域.

- 通富微电：专注于半导体封装测试，产品广泛应用于光刻机制造领域.

- 紫光国微：主要从事集成电路设计、制造和销售，产品包括光刻机所需的集成电路.

- 兆易创新：专注于存储器芯片研发、生产和销售，产品包括光刻机所需的存储器芯片.